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电子行业中造成环境污染有机废气主要是产生于芯片或线路板生产的清洗、均胶、去胶、刻蚀、显影等过程中。这些有机废气对人身体危害极为严重,所以必须要进行处理后才能排放入大气当中。
电子厂废气处理设备常见有机废气处理方法主要有以下几种:
(1)燃烧法包括高温燃烧和催化燃烧,前者需要附加燃料燃烧,因此,使用该法时要考虑回收利用热能;催化燃烧能耗低,但在工作初期,需用电加热将废气加热到起燃温度,故对于频繁开停车的场合不合适。考虑到高温燃烧法回收的热量超过生产所需的热能,故并不合适。而直接采用催化燃烧投资太大。